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山东高纯氨气厂家直供–批发价格

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高纯氨应用原理是什么?

【1】  Ga(CH3)3+ NH3 → GaN + 4CH4

这个反应是制造发光二极管(LED)外延芯片的氮化镓的基 础,反应在昂贵的 MOCVD (有机金属气相沉积)设备上完成。山东青岛。

【2】  3SiH4 + 4NH3→ Si3N4 + 12H2

这个反应是制造氮化硅(Si3N4 )的基础,由硅烷(SiH4 )和高纯氨在较高温度下,在化学气相沉积(CVD)设备中进行反应,此反应也需要相当数量的高纯氨气。山东青岛。

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